Cassette/晶舟盒/晶圓盒

承載晶圓專用的晶圓舟，材質有金屬及鐵氟龍，各種尺寸與規格皆可設計。主要功用於無塵室內承載晶圓在無塵室生產時配合機台，並避免直接接觸使晶圓造成污損，將晶圓放置晶舟內，再置入機台。
半導體製程中，晶圓在高溫製程中，需要金屬晶舟當載具，金屬晶舟有設計防滑裝置，晶圓置放於金屬晶舟內，關上定位桿即可防止晶圓在傳送或製程中滑落。晶圓在酸鹼製程中，以鐵氟龍晶舟當載具，採用特殊的功能設計，在晶圓放置於晶舟後，不會左右晃動，離開酸槽後可以將酸的殘留量降至最低。

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